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A 0.1 G-to-20 G integrated MEMS inertial sensor
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Applications
Veröffentlicht in ECS transactions
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(Invited) MEMS Accelerometer Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology
Veröffentlicht in ECS transactions
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Water-soluble Inclusion Complexes of [60]Fullerene Derivatives Using γ-Cyclodextrin
Veröffentlicht in Chemistry letters
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Multi-Physics Equivalent Circuit Model for MEMS Sensors and Actuators
Veröffentlicht in ECS transactions
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