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High velocity method for deposing diamond films from a gaseous phase in shf discharge plasma and device for carrying out said method
von
VIKHAREV ANATOLIY LEONTIEVICH,GORBACHEV ALEKCEY MIKHAYLOVICH,LITVAK ALEKSANDR GRIGORIEVICH,BYKOV JURIY VLADIMIROVICH,DENISOV GRIGORY GENNADIEVICH,IVANOV OLEG ANDREEVICH,KOLDANOV VLADIMIR ALEKSANDROVI
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High velocity method for deposing diamond films from a gaseous phase in shf discharge plasma and device for carrying out said method
von
BYKOV JURIY VLADIMIROVICH
,
IVANOV OLEG ANDREEVICH
,
KOLDANOV VLADIMIR ALEKSANDROVI
,
DENISOV GRIGORY GENNADIEVICH
,
GORBACHEV ALEKCEY MIKHAYLOVICH
,
LITVAK ALEKSANDR GRIGORIEVICH
,
VIKHAREV ANATOLIY LEONTIEVICH
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