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    MICROMECHANICAL ACCELEROMETER

    MICROMECHANICAL ACCELEROMETER von KOCHURINA ELENA SERGEEVNA, TIMOSHENKOV ALEKSEJ SERGEEVICH, CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH, MIRONOV SERGEJ GENNAD'EVICH, KIRGIZOV SERGEJ VIKTOROVICH, GLAZKOV OLEG NIKOLAEVICH, ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH, TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH, SHILOV VALERIJ FEDOROVICH

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    SENSING ELEMENT OF MICROMECHANICAL ACCELEROMETER

    SENSING ELEMENT OF MICROMECHANICAL ACCELEROMETER von KOCHURINA ELENA SERGEEVNA, TIMOSHENKOV ALEKSEJ SERGEEVICH, CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH, MIRONOV SERGEJ GENNAD'EVICH, KIRGIZOV SERGEJ VIKTOROVICH, GLAZKOV OLEG NIKOLAEVICH, GOLOVAN' ANTON SERGEEVICH, ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH, RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH, TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH, SHILOV VALERIJ FEDOROVICH

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