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    METHOD OF ISOLATING ELEMENTS THROUGH TRENCHES OF SEMICONDUCTOR DEVICE

    METHOD OF ISOLATING ELEMENTS THROUGH TRENCHES OF SEMICONDUCTOR DEVICE von KO SHIYUCHIN, SHIN YU-GYUN

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    MANUFACTURING TRENCH ISOLATION

    MANUFACTURING TRENCH ISOLATION von KO SHIYUCHIN, SHIN SHOBOKU, KIN BYUNKI, GU HONEI, RYU EISHO

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