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WAFER CLAMP FOR HEATER ASSEMBLY
von
KIN DAIBUN
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SAI KAIBUN
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KO GENKOKU
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KIM SUNGTAE
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METHOD AND DEVICE FOR REMOVING FINE PARTICLE CONTAMINANT IN TUNGSTEN SILICIDE DEPOSITION PROCESS
von
GU KYOHAN
,
KIN KOSHU
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RA DOKON
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KIN EIRO
,
KIN GENEI
,
KO GENKOKU
,
KIN CHUKAN
,
BOKU TOSAN
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MODIFICATION OF SURFACE OF NITRIDE AND NITRIDE HAVING IMPROVED SURFACE BY THE SAME
von
SAI GENKOKU
,
CHO KEICHIN
,
KO SHAKUKIN
,
SON YOBAI
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4
SURFACE PRETREATMENT METHOD FOR OXIDE SUBSTRATE USING ION BEAM AND METHOD FOR FORMING NITRIDE THIN FILM USING THE SAME
von
KIN DOWA
,
SAI GENKOKU
,
HEN TOSHIN
,
KO SHAKUKIN
,
JONG HYONG-JIN
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Patent
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Diffusion Treatment Of Metallic Material
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Single Crystals Or Homogeneous Polycrystalline Material Withdefined Structure
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Single-Crystal-Growth
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Esp@Cenet
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