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    METHOD FOR REACTIVE ION-PLASMA ETCHING OF TANTALUM, TANTALUM-NITROGEN, AND TANTALUM-ALUMINUM FILMS

    METHOD FOR REACTIVE ION-PLASMA ETCHING OF TANTALUM, TANTALUM-NITROGEN, AND TANTALUM-ALUMINUM FILMS von JACHMENEV V.V, ALEKSEEV N.V, EREMENKO A.N, KLYCHNIKOV N.I, EREMCHUK A.I

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    GEAR MEASURING GAS FLOW RATE

    GEAR MEASURING GAS FLOW RATE von SHEVCHENKO T.JA, PAVLOV N.A, KLYCHNIKOV S.K, SUKHONOSOV V.S, TARABAEV G.I, NIKITIN A.S, BUJANOV N.I

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