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Projection Charged Particle Nanolithography and Nanopatterning
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Projection Mask-Less Lithography (PML2)
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Structure and morphology of ultrathinCo/Ru(0001) films
Veröffentlicht in New journal of physics
VolltextArtikel -
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