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Development of High Quality IGZO Deposition Technology
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
VolltextArtikel -
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Stability of AlOx Films by Substrate Cooling
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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Characteristics of Al2O3 Films Deposited with Additional Gas
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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Effects of impurities on IGZO TFT Characteristics
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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