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Microstructures of HfOx Films Prepared via Atomic Layer Deposition Using La(NO3)3·6H2O Oxidants
Veröffentlicht in Materials
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Investigating the Degradation of EUV Transmittance of an EUV Pellicle Membrane
Veröffentlicht in Membranes (Basel)
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Optimal preventive maintenance: Balancing reliability and costs in the electricity market
Veröffentlicht in Energy policy
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Atomic layer etching of SiO2 using trifluoroiodomethane
Veröffentlicht in Applied surface science
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