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Selective etching of silicon nitride over silicon oxide using ClF3/H2 remote plasma
Veröffentlicht in Scientific reports
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Cyclic Atomic Layer Etching of PdSe2
Veröffentlicht in Advanced functional materials
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Radical flux control in reactive ion beam etching (RIBE) by dual exhaust system
Veröffentlicht in Applied surface science
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Cyclic etching of silicon oxide using NF3/H2 remote plasma and NH3 gas flow
Veröffentlicht in Plasma processes and polymers
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Cyclic Atomic Layer Etching of PdSe 2
Veröffentlicht in Advanced functional materials
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Atomic layer etching of Sn by surface modification with H and Cl radicals
Veröffentlicht in Nanotechnology
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