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Fluorinated materials for UV nanoimprint lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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UV Curable Resin for Nanoimprint
Veröffentlicht in Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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157-nm Single-Layer Resists Based on Main-Chain-Fluorinated Polymers
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Imprinted 50 nm Features Fabricated by Step and Stamp UV Imprinting
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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