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Patterning process
von
WANG, WEN-YUN
,
LIU, CHIAU
,
LIN, HUA-TAI
,
KAU, KUOANG
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2
Lithography Patterning with a Gas Phase Resist
von
CHANG SHU-HAO
,
HUANG KEVIN
,
CHEN JENG-HORNG
,
KAU KUOANG
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3
Semiconductor Integrated Circuit Fabrication With Pattern-Reversing Process
von
CHIEN MINGIN
,
CHANG SHU-HAO
,
CHIEN SHANGIEH
,
WU JUIING
,
CHEN JENG-HORNG
,
CHAUNG JEN-YANG
,
KAU KUOANG
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4
Method for Lithography Patterning
von
KUOANG KAU
,
KEVIN HUANG
,
SHU-HAO CHANG
,
JENG-HORNG CHEN
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5
Method of fabricating semiconductor device
von
KUOANG KAU
,
KEVIN HUANG
,
SHU-HAO CHANG
,
JENG-HORNG CHEN
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6
Method for lithography patterning
von
CHEN, JENG-HORNG
,
HUANG, KEVIN JIAN-YUAN
,
CHANG, SHU-HAO
,
KAU, KUOANG
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Patent
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7
Method of fabricating a semiconductor device
von
CHEN, JENG-HORNG
,
HUANG, KEVIN JIAN-YUAN
,
CHANG, SHU-HAO
,
KAU, KUOANG
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Patent
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8
Method for patterning photoresist layer
von
CHEN, CHIENIH
,
CHEN, JENG-HORNG
,
CHIA, PI-YEH
,
LIN, YINGIH
,
CHANG, SHU-HAO
,
KAU, KUOANG
,
CHEN, CHI-REN
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Patent
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9
MATERIAL COMPOSITION AND METHODS THEREOF
von
CHANG SHU-HAO
,
CHIA PI-YEH
,
CHEN JENG-HORNG
,
CHEN CHI-REN
,
CHEN CHIENIH
,
KAU KUOANG
,
LIN YINGIH
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Patent
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10
Mask Cleaning
von
CHANG SHU-HAO
,
CHIEN MINGIN
,
CHIEN SHANGIEH
,
HUANG KEVIN
,
CHEN JENG-HORNG
,
YEN ANTHONY
,
CHEN NORMAN
,
KAU KUOANG
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Patent
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11
Lithography system and method for using the same
von
CHEN, JENG-HORNG
,
CHIEN, SHANGIEH
,
YEN, ANTHONY
,
HUANG, KEVIN JIAN-YUAN
,
CHANG, SHU-HAO
,
CHEN, NORMAN JIA-ZHEN
,
KAU, KUOANG
,
CHIEN, MINGIN
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Patent
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