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Electron Beam Recorder for Patterned Media Mastering
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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High-Density Recording Using an Electron Beam Recorder
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Improvement of Electron Beam Mastering Using Dry Etching Process
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Study of Chemically Amplified Resist Using an Electron Beam Recorder
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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High Density Mastering Using Electron Beam
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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