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APPARATUS FOR SUPPRESSING PARASITIC PLASMA IN PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CHAMBER
von
HAMMOND, Edward P
,
ROCHA, Juan Carlos
,
KATAMBLI, Satish
,
PRABHAKAR, Vinay K
,
KULKARNI, Mayur Govind
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
ADDEPALLI, Sai Susmita
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APPARATUS FOR SUPPRESSING PARASITIC PLASMA IN PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CHAMBER
von
HAMMOND, Edward P
,
ROCHA, Juan Carlos
,
KATAMBLI, Satish
,
PRABHAKAR, Vinay K
,
KULKARNI, Mayur Govind
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
ADDEPALLI, Sai Susmita
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APPARATUS FOR SUPPRESSING PARASITIC PLASMA IN PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CHAMBER
von
ROCHA, Juan Carlos
,
KATAMBLI, Satish
,
HAMMOND, IV, Edward P
,
PRABHAKAR, Vinay K
,
KULKARNI, Mayur Govind
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
ADDEPALLI, Sai Susmita
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Apparatus for suppressing parasitic plasma in plasma enhanced chemical vapor deposition chamber
von
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, HANISH KUMAR
,
KULKARNI, MAYUR GOVIND
,
HAMMOND, EDWARD P. IV
,
ADDEPALLI, SAI SUSMITA
,
KATAMBLI, SATISH
,
PRABHAKAR, VINAY K
,
ROCHA, JUAN CARLOS
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플라즈마 강화 화학 기상 증착 챔버에서 기생 플라즈마를 억제하기 위한 장치
von
HAMMOND EDWARD P. IV
,
ROCHA JUAN CARLOS
,
PRABHAKAR VINAY K
,
ADDEPALLI SAI SUSMITA
,
KATAMBLI SATISH
,
KULKARNI MAYUR GOVIND
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY HANISH KUMAR
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APPARATUS FOR SUPPRESSING PARASITIC PLASMA IN PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CHAMBER
von
ROCHA JUAN CARLOS
,
PRABHAKAR VINAY K
,
ADDEPALLI SAI SUSMITA
,
KATAMBLI SATISH
,
KULKARNI MAYUR GOVIND
,
HAMMOND EDWARD P
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY HANISH KUMAR
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Apparatus for suppressing parasitic plasma in plasma enhanced chemical vapor deposition chamber
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PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, HANISH KUMAR
,
KULKARNI, MAYUR GOVIND
,
HAMMOND, EDWARD P. IV
,
ADDEPALLI, SAI SUSMITA
,
KATAMBLI, SATISH
,
PRABHAKAR, VINAY K
,
ROCHA, JUAN CARLOS
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