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Experiments and global model of inductively coupled rf Ar/N2 discharges
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Experiments and global model of inductively coupled rf Ar / N 2 discharges
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Experiments and global model of inductively coupled rf Ar/N{sub 2} discharges
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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