-
1
Plasma-induced damage in PZT thin films etched by inductively coupled plasma
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
2
-
3
Recovery of plasma-induced damage in PZT thin film with O2 gas annealing
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
4
Recovery of plasma-induced damage in PZT thin film with O 2 gas annealing
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20