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JP2951718B
von
YOKOTA TAKASHI
,
KAMIKANDA OSAMU
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2
Plasma processing apparatus using capacitance manometer and pressure control method thereof
von
YOKOTA
,
TAKASHI
,
KAMIKANDA
,
OSAMU
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3
ZERO POINT ADJUSTING DEVICE FOR PRESSURE GAUGE OUTPUT
von
YOKOTA TAKASHI
,
KAMIKANDA OSAMU
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4
PLASMA PROCESSING APPARATUS USING CAPACITANCE MANOMETER AND PRESSURE CONTROL METHOD THEREOF
von
KAMIKANDA, OSAMU
,
YOKOTA, TAKASHI
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5
JP2892787B
von
OKANO HARUO
,
KAMIKANDA OSAMU
,
NOZAWA TOSHIHISA
,
YOSHIDA YUKIMASA
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6
Plasma apparatus, and method and system for extracting electrical signal of member to which high-frequency-wave is applied
von
OKANO, HARUO
,
KAMIKANDA, OSAMU
,
YOSHIDA, YUKIMASA
,
NOZAWA, TOSHIHISA
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7
METHOD FOR EXTRACTING ELECTRIC SIGNAL
von
OKANO HARUO
,
KAMIKANDA OSAMU
,
NOZAWA TOSHIHISA
,
YOSHIDA YUKIMASA
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8
Plasma apparatus, and method and system for extracting electrical signal of member to which high-frequency-wave is applied
von
OKANO, HARUO
,
KAMIKANDA, OSAMU
,
YOSHIDA, YUKIMASA
,
NOZAWA, TOSHIHISA
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9
PLASMA APPARATUS AND METHOD AND SYSTEM FOR EXTRACTING ELECTRICAL SIGNAL OF MEMBER TO WHICH HIGH-FREQUENCY WAVE IS APPLIED
von
NOJAWA, DOSHIHISA
,
OKANO, HARUO
,
KAMIKANDA, OSAMU
,
YOSHIDA, YUKIMASA
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10
PLASMA APPARATUS, AND METHOD AND SYSTEM FOR EXTRACTING ELECTRICAL SIGNAL OF MEMBER TO WHICH HIGH-FREQUENCY WAVE IS APPLIED
von
OKANO
,
HARUO
,
NOZAWA
,
TOSHIHISA
,
KAMIKANDA
,
OSAMU
,
YOSHIDA
,
YUKIMASA
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11
PLASMA APPARATUS, AND METHOD AND SYSTEM FOR EXTRACTING ELECTRICAL SIGNAL OF MEMBER TO WHICH HIGH-FREQUENCY-WAVE IS APPLIED
von
OKANO, HARUO
,
KAMIKANDA, OSAMU
,
YOSHIDA, YUKIMASA
,
NOZAWA, TOSHIHISA
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Plasmagerät, Verfahren und Vorrichtung zur Extrahierung eines elektrischen Signals aus einem einer Hochfrequenzwelle ausgesetzten Glied
von
OKANO, HARUO
,
KAMIKANDA, OSAMU, MIDORI-KU, YOKOHAMA-SHI, JP
,
YOSHIDA, YUKIMASA
,
NOZAWA, TOSHIHISA, KOHOKO-KU, YOKOHAMA-SHI, JP
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Patent
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