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Theoretical Study of the Mechanism for the Reaction of Trimethylaluminum with Ozone
Veröffentlicht in ACS omega
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Features of ALD Process with Pure Ozone Gas
Veröffentlicht in Journal of The Surface Finishing Society of Japan
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Properties of low-temperature ALD Al2O3 film by high purity ozone
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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