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Temperature-controlled chuck and method for controlling temperature of substantially flat object
von
J.G. MALTABES,A.B. CHARLES,K.E. MAUTZ
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Lithography method for forming semiconductor devices on wafer and apparatus
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J.G. MALTABES,A.B. CHARLES,K.E. MAUTZ
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Temperature-controlled chuck and method for controlling temperature of substantially flat object
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A.B. CHARLES
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J.G. MALTABES
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Lithography method for forming semiconductor devices on wafer and apparatus
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K.E. MAUTZ
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A.B. CHARLES
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Method for chemical mechanical polishing (CMP) with altering concentration of oxidizing agent in slurry
von
D.W. HAGGART JR.,J. MALTABES,K.E. MAUTZ
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Method for chemical mechanical polishing (CMP) with altering concentration of oxidizing agent in slurry
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K.E. MAUTZ
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D.W. HAGGART JR
,
J. MALTABES
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7
Identification of the enzyme responsible for oxidative halothane metabolism: implications for prevention of halothane hepatitis
von
Kharasch, E.D.
,
Hankins, D.
,
Mautz, D.
,
Kharasch, E.D.
,
Thummel, K.E.
Veröffentlicht in
The Lancet (British edition)
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Artikel
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