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Micro-nanostructured plasmonic TiN layer produced using rapid thermal nitridation of a nanoimprinted TiO 2 sol-gel
von
Crespo-Monteiro, Nicolas
,
Valour, Arnaud
,
Gamet, Emilie
,
Usuga Higuita, Maria A.
,
Gâté, Valentin
,
Turbil, Colette
,
Turover, Daniel
,
Reynaud, Stéphanie
,
Joneau, Julien
,
Jourlin, Yves
Veröffentlicht in
Optical materials express
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Micro-nanostructured plasmonic TiN layer produced using rapid thermal nitridation of a nanoimprinted TiO2 sol-gel
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Higuita, Maria A Usuga
,
Gâté, Valentin
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Turbil, Colette
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