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    The effect of film edge shapes on the stress field for a multilayered semiconductor structure: a finite-element analysis study

    The effect of film edge shapes on the stress field for a multilayered semiconductor structure: a finite-element analysis study von Valdés, Sergio H.Díaz, Nemes, James A., Jiran, Eva

    Veröffentlicht in Journal of crystal growth

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    Archeologický ústav AV ČR: rok poté von Jiráň, Luboš, Tomášek, Martin, Venclová, Natalie, Šoufková, Eva, Broncová, Alice, Ochrana, František, Frolík, Jan, Kuna, Martin

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