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A tiny plastic package of pressure sensors fabricated using the lithographic dam-ring approach
von
Lung-Tai Chen
,
Chung-Yi Hsu
,
Jin-Sgeng Chang
,
Chun-Hsun Chu
,
Woo-Hi Cheng
,
Yue-Zhe Xie
,
Chen, R.S.
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A tiny plastic package of piezoresistive pressure sensors constructed by sacrifice-replacement approach
von
Lung-Tai Chen
,
Chung-Yi Hsu
,
Jin-Sgeng Chang
,
Wen-Lo Shieh
,
Yue-Zhe Xie
,
Chun-Hsun Chu
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