Suchergebnisse - Jiho Uh | OPAC THWS

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Surface kinetics and feature scale particle model of Si x N y atomic layer deposition using Si2Cl6 precursor von Solmaz, Evrim, Ryu, Seung-Min, Uh, Jiho, Raja, Laxminarayan L.

Veröffentlicht in Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films

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VALVE STRUCTURE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME von Wi, Dongwoo, Uh, Jiho, Park, Kangmin, Chun, Hyunsoo, Kim, Hyungho

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Valve structure and substrate processing apparatus including the same von Wi, Dongwoo, Uh, Jiho, Park, Kangmin, Chun, Hyunsoo, Kim, Hyungho

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VALVE STRUCTURE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME von Wi, Dongwoo, Uh, Jiho, Park, Kangmin, Chun, Hyunsoo, Kim, Hyungho

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MASS FLOW CONTROLLER AND ZERO POINT CALIBRATION METHOD USING THE SAME von Jang, Geongu, Uh, Jiho, Lee, Jinseok, Kim, Seunghun, Kim, Minjung, Kim, Taemin

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MASS FLOW CONTROL DEVICE AND ZERO POINT CALIBRATION METHOD FOR THE SAME von Kang, Kyungho, Uh, Jiho, Ryu, Seungmin, Kim, Seunghun, Seo, Minseok, Park, Donghoon, Cho, Seunglae

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Control of ultra precision hybrid stage von Yonmook Park, Jiho Uh, Hosun Yoo

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Substrate processing apparatus von Cho, Chungho, Shim, Kyuchul, Uh, Jiho, Lee, Jinseok, Cho, Namki, Cho, Kihong

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Vacuum chuck, substrate processing apparatus including the same and related method of manufacture von Han, Donghoon, Kim, Minjoon, Uh, Jiho, Ji, Byounghoon, Bae, Jongyong, Maeng, Seoyoung, Lim, Hongtaek

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PH MONITORING SYSTEMS HAVING SENSOR MODULES von SON, Jungsoo, PARK, Wonhee, RYU, Jaeo, CHUN, Hyunsoo, UH, Jiho, KIM, Kyoungok, PARK, Sunhwan

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Iterative learning control of robot manipulator with I-type parameter estimator von Joon-Young Choi, Jiho Uh, Jin S Lee

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