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Amplitude-modulated resonant accelerometer employing parametric pump
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Feedthrough parasitic nonlinear resonance in micromechanical oscillators
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Low-Damage Trimming of Micro Hemispherical Resonators by Chemical Etching
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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A Low-Noise High-Order Mode-Localized MEMS Accelerometer
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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