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Phase-Modulated Standing Wave Interferometer
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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Heterodyne Standing-Wave Interferometer with Improved Phase Stability
Veröffentlicht in Nanomanufacturing and metrology
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Investigations on Long-Range AFM Scans Using a Nanofabrication Machine (NFM-100)
Veröffentlicht in Proceedings
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Gas-Flow Sensor Based on Self-Oscillating and Self-Sensing Cantilever
Veröffentlicht in Proceedings
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RTP — temperature monitoring by means of oxidation
Veröffentlicht in Journal of non-crystalline solids
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