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Electron beam lithography over topography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Passivation effects in novolak based resists during O2-RIE
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Influence of interdiffusion and surfactants on Si/SiGe heterointerfaces
Veröffentlicht in Applied surface science
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Resist process to join electron beam lithography and photolithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Submicrometer photolithography by surface imaging - experiment and simulation
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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