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Experimental study of the oxidation of silicon germanium alloys
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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A diffusional model for the oxidation behavior of Si1−xGex alloys
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Stress effects in the oxidation of planar silicon substrates
Veröffentlicht in Applied physics letters
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An angle-resolved study of early oxidation ( < 3.0 nm ) of Si-Ge alloys
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Submicron oxidation thickening
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Chemically assisted oxidation of silicon nitride
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Planar oxidation of strained silicon substrates
Veröffentlicht in Journal of materials research
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Self-assembly formed oxime monolayers on a copper surface
Veröffentlicht in Thin solid films
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Effect of fluorine on the diffusion of through-oxide implanted boron in silicon
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Role of recoil implanted oxygen in determining boron diffusion in silicon
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Impurity dependence of film-edge-induced dislocations in silicon
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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The effect of fluorine additions to the oxidation of silicon
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Enhanced tail diffusion of ion implanted boron in silicon
Veröffentlicht in Applied physics letters
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