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Evacuation and Vacuum Pumps
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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Sweeping of trapped flux in superconductors using laser beam scanning
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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The performance of the dry roots pump “DRYMAC” in LP-CVD silicon nitride process
Veröffentlicht in Applied surface science
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Development of an Oil-Free Vacuum Pump using a Unique Bellows
Veröffentlicht in SHINKU
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Development of the Digitally Controlled Quadrupole Power Supply System
Veröffentlicht in SHINKU
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Dry Pump. Roots Dry Vacuum Pump Made of Aluminum Cast Alloy and Reactive Gas Pumping
Veröffentlicht in SHINKU
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