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Ti-doped hydrogenated diamond like carbon coating deposited by hybrid physical vapor deposition and plasma enhanced chemical vapor deposition
von
Lee, Na Rae
,
Jun, Yee Sle
,
Moon, Kyoung Il
,
Lee, Caroline Sunyong
Veröffentlicht in
Japanese Journal of Applied Physics
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Manufacturing Method of Lubricated Parts Thin Film Using Organic Metal Precursor
von
CHOI YU RI
,
CHO YONG KI
,
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