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Ionized physical vapor deposition (IPVD): A review of technology and applications
Veröffentlicht in Thin solid films
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Guiding the deposition flux in an ionized magnetron discharge
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Phase tailoring of Ta thin films by highly ionized pulsed magnetron sputtering
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Plasma dynamics in a highly ionized pulsed magnetron discharge
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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