-
1
Wideband MEMS Energy Harvester Driven by Colored Noise
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
VolltextArtikel -
2
-
3
Metasurface Fabrication by Cryogenic and Bosch Deep Reactive Ion Etching
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
VolltextArtikel -
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
Microfabricated 1-3 composite acoustic matching layers for 15 MHz transducers
Veröffentlicht in Ultrasonics
VolltextArtikel -
14
Microfabricated 1a3 composite acoustic matching layers for 15 MHz transducers
Veröffentlicht in Ultrasonics
VolltextArtikel -
15
Microfabricated 1–3 composite acoustic matching layers for 15MHz transducers
Veröffentlicht in Ultrasonics
VolltextArtikel -
16
-
17
Plastic Deformation of Thin Si Membranes in Si-Si Direct Bonding
Veröffentlicht in ECS transactions
VolltextArtikel -
18
-
19
-
20