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    ELECTROSTATIC MEMS KEY

    ELECTROSTATIC MEMS KEY von AMELICHEV VLADIMIR VIKTOROVICH, JAKUKHINA ANASTASIJA VLADIMIROVNA, SHAMANAEV SERGEJ VLADIMIROVICH, PLATONOV VLADIMIR VITAL'EVICH, GRIGOR'EV DMITRIJ MIKHAJLOVICH, GENERALOV SERGEJ SERGEEVICH

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    METHOD OF MAKING ELECTROSTATIC POWER MEMS SWITCH

    METHOD OF MAKING ELECTROSTATIC POWER MEMS SWITCH von AMELICHEV VLADIMIR VIKTOROVICH, POLOMOSHNOV SERGEJ ALEKSANDROVICH, JAKUKHINA ANASTASIJA VLADIMIROVNA, SHAMANAEV SERGEJ VLADIMIROVICH, PLATONOV VLADIMIR VITAL'EVICH, GENERALOV SERGEJ SERGEEVICH

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