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Novel Diamantane Polymer Platform for Resist Applications
von
Padmanaban, Murirathna
,
Chakrapani, Srinivasan
,
Lin, Guanyang
,
Kudo, Takanori
,
Parthasarathy, Deepa
,
Anyadiegwu, Clement
,
Antonio, Charito
,
Dammel, Ralph
,
Liu, Shenggao
,
Lam, Feederick
,
Maehara, Takayuki
,
Iwasaki, Fimiaki
,
Yamaguchi, Masao
Veröffentlicht in
Journal of Photopolymer Science and Technology
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Free Full-Text Journals In Chemistry
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J-Stage Free
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