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Efficiency of Intrinsic Gettering for Copper in Silicon
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Hydrogen Passivation of Iron-Related Hole Traps in Silicon
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Rhombic Aggregation of Dislocations in CZ-Si Crystal
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Intrinsic gettering of copper in silicon wafers
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Oxidation-induced stress in a LOCOS structure
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Hydrogen passivation of iron-related hole traps in silicon
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Computer-aided simulation for oxygen precipitation in silicon
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Cavity formation due to Si3N4/SiO2 film-induced stress in silicon
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Lattice mismatch and crystal system in epitaxial garnet films
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Influence of fluorine on oxidation-induced stacking faults
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Stress distributions in silicon crystal substrates with thin films
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