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Completely flat erosion magnetron sputtering using a rotating asymmetrical yoke magnet
Veröffentlicht in Vacuum
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Target utilization of planar magnetron sputtering using a rotating tilted unbalanced yoke magnet
Veröffentlicht in Vacuum
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Wide erosion nickel magnetron sputtering using an eccentrically rotating center magnet
Veröffentlicht in Vacuum
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Flat erosion magnetron sputtering with a moving unbalanced magnet
Veröffentlicht in Vacuum
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Two-dimensionally deflecting mirror using electromagnetic actuation
Veröffentlicht in Optical review (Tokyo, Japan)
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