-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
Bulk and surface micromachined MEMS in thin film SOI technology
Veröffentlicht in Electrochimica acta
VolltextArtikel -
7
Steady-state measurement of wafer bonding cracking resistance
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
VolltextArtikel -
8
-
9
Bulk and surface micromachined MEMS in thin film SOI technolog
Veröffentlicht in Electrochimica acta
VolltextArtikel -
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20