-
1
-
2
-
3
Azide-phenolic resin photoresists for deep UV lithography
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
VolltextArtikel -
4
A negative resist for KrF excimer laser lithography
Veröffentlicht in Polymer engineering and science
VolltextArtikel -
5
Azide Photoresists for Deep U.V. Lithography
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
VolltextArtikel -
6
-
7
Optimization of the composition of a new MRS-type negative resist
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
VolltextArtikel -
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
Peroxopolytungstic acids: a new inorganic resist material
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
17
-
18
-
19
-
20