-
1
Near-field lithography as prototype nano-fabrication tool
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
2
-
3
-
4
-
5
Fabrication of hp 32 nm resist patterns using near-field lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
Fabrication of hp 32nm resist patterns using near-field lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
16
-
17
-
18
-
19
-
20