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Lateral GaN MISFETs Fabricated in Mg Ion Implanted Layer
Veröffentlicht in Materials science forum
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Ion Implantation into GaN and Its Application to Power Devices
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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Evaluation of crystal damage in Mg-implanted GaN by RBS
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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Evaluation of crystal damage in Mg-implanted GaN by TEM
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