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Tip characterizer for atomic force microscopy
Veröffentlicht in Review of scientific instruments
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Global standardization of scanning probe microscopy
Veröffentlicht in Nanotechnology
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High-quality SiO2 film formation by highly concentrated ozone gas at below 600 °C
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Metal cluster complex primary ion beam source for secondary ion mass spectrometry (SIMS)
Veröffentlicht in Vacuum
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Low-Temperature Oxidation of Silicon using UV-Light-Excited Ozone
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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