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APPARATUSES AND SYSTEMS FOR AMMONIA/CHLORINE CHEMISTRY SEMICONDUCTOR PROCESSING
von
Durbin, Aaron
,
Streng, Bradley Taylor
,
Batzer, Rachel E
,
Iadanza, Christopher Nicholas
,
Miller, Aaron Blake
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APPARATUSES AND SYSTEMS FOR AMMONIA/CHLORINE CHEMISTRY SEMICONDUCTOR PROCESSING
von
BATZER, Rachel E
,
IADANZA, Christopher Nicholas
,
MILLER, Aaron Blake
,
STRENG, Bradley Taylor
,
DURBIN, Aaron
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APPARATUSES AND SYSTEMS FOR AMMONIA/CHLORINE CHEMISTRY SEMICONDUCTOR PROCESSING
von
BATZER, Rachel E
,
IADANZA, Christopher Nicholas
,
MILLER, Aaron Blake
,
STRENG, Bradley Taylor
,
DURBIN, Aaron
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HIGH MODULUS BORON-BASED CERAMICS FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
von
REDDY, Kapu Sirish
,
IADANZA, Christopher Nicholas
,
BANERJI, Ananda K
,
HENRI, Jon
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5
HIGH PRESSURE INERT OXIDATION AND IN-SITU ANNEALING PROCESS TO IMPROVE FILM SEAM QUALITY AND WER
von
JEON, Eli
,
BARNETT, Cody
,
IADANZA, Christopher Nicholas
,
ABEL, Joseph R
,
AGNEW, Douglas Walter
,
BHANDARI, Shiva Sharan
,
VARNELL, Jason Alexander
,
CURTIN, Ian John
,
AUSTIN, Dustin Zachary
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HIGH MODULUS BORON-BASED CERAMICS FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
von
REDDY, Kapu Sirish
,
IADANZA, Christopher Nicholas
,
BANERJI, Ananda K
,
HENRI, Jon
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7
암모니아/염소 화학 물질 반도체 프로세싱을 위한 장치들 및 시스템들
von
STRENG BRADLEY TAYLOR
,
DURBIN AARON
,
MILLER AARON BLAKE
,
IADANZA CHRISTOPHER NICHOLAS
,
BATZER RACHEL E
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8
Apparatuses and systems for ammonia/chlorine chemistry semiconductor processing
von
STRENG, BRADLEY TAYLOR
,
IADANZA, CHRISTOPHER NICHOLAS
,
DURBIN, AARON
,
MILLER, AARON BLAKE
,
BATZER, RACHEL E
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막 솔기 품질 및 워(WER)를 개선하기 위한 고압 불활성 산화 및 인-시튜(in-situ) 아닐링 공정
von
CURTIN IAN JOHN
,
JEON ELI
,
AUSTIN DUSTIN ZACHARY
,
VARNELL JASON ALEXANDER
,
AGNEW DOUGLAS WALTER
,
BHANDARI SHIVA SHARAN
,
ABEL JOSEPH R
,
IADANZA CHRISTOPHER NICHOLAS
,
BARNETT CODY
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반도체 애플리케이션들을 위한 고 모듈러스 (modulus) 붕소-기반 세라믹스
von
HENRI JON
,
IADANZA CHRISTOPHER NICHOLAS
,
BANERJI ANANDA K
,
REDDY KAPU SIRISH
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11
High pressure inert oxidation and in-situ annealing process to improve film seam quality and WER
von
JEON, ELI
,
BARNETT, CODY
,
BHANDARI, SHIVA SHARAN
,
CURTIN, IAN JOHN
,
IADANZA, CHRISTOPHER NICHOLAS
,
ABEL, JOSEPH R
,
VARNELL, JASON ALEXANDER
,
AGNEW, DOUGLAS WALTER
,
AUSTIN, DUSTIN ZACHARY
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