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Optical balanced detection in heterodyne interferometric ellipsometry
Veröffentlicht in Applied Optics
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Polarization modulation imaging ellipsometry for thin film thickness measurement
Veröffentlicht in Optics communications
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Polarization shifting interferometric profilometer
Veröffentlicht in Optics and lasers in engineering
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Dual-frequency paired polarization phase shifting ellipsometer
Veröffentlicht in Optics communications
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Polarized Ring Interferometer for Linear Birefringence Measurement
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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