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Growth mechanism of polycrystalline silicon films from hydrogen-diluted SiCl 4 at low temperature
von
Lin, Xuanying
,
Lin, Kuixun
,
Huang, Chuajun
,
Yu, Yunpeng
,
Luo, Yilin
,
Yu, Chuying
,
Huang, Rui
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Growth mechanism of polycrystalline silicon films from hydrogen-diluted SiCl{sub 4} at low temperature
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Huang Chuajun
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Yu Yunpeng
,
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Lin, Xuanying
,
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Huang, Chuajun
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,
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,
Huang, Rui
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