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    Low temperature remote plasma sputtering of indium tin oxide for flexible display applications

    Low temperature remote plasma sputtering of indium tin oxide for flexible display applications von Wakeham, S.J., Thwaites, M.J., Holton, B.W., Tsakonas, C., Cranton, W.M., Koutsogeorgis, D.C., Ranson, R.

    Veröffentlicht in Thin solid films

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