Formation of SiC using low energy CO 2 ion implantation in silicon von Sari, A.H., Ghorbani, S., Dorranian, D., Azadfar, P., Hojabri, A.R., Ghoranneviss, M.

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Formation of SiC using low energy CO2 ion implantation in silicon von Sari, A.H., Ghorbani, S., Dorranian, D., Azadfar, P., Hojabri, A.R., Ghoranneviss, M.

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