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PEALD AlN: Controlling growth and film crystallinity
Veröffentlicht in Physica status solidi. C
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Kinetic study of MOCVD of NiO films from bis-(ethylcyclopentadienyl) nickel
Veröffentlicht in Physica status solidi. C
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MOCVD growth of Pt films using a novel Pt(IV) compound as a precursor
Veröffentlicht in Physica status solidi. C
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