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    Analytical Model of a PZT Thick-Film Triaxial Accelerometer for Optimum Design

    Analytical Model of a PZT Thick-Film Triaxial Accelerometer for Optimum Design von Hindrichsen, C.C., Almind, N.S., Brodersen, S.H., Hansen, O., Thomsen, E.V.

    Veröffentlicht in IEEE sensors journal

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    MEMS Accelerometer with Screen Printed Piezoelectric Thick Film

    MEMS Accelerometer with Screen Printed Piezoelectric Thick Film von Hindrichsen, C.C., Thomsen, E.V., Lou-Moller, R., Bove, T.


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    Investigation of Top/Bottom Electrode and Diffusion Barrier Layer for PZT Thick Film MEMS Sensors

    Investigation of Top/Bottom Electrode and Diffusion Barrier Layer for PZT Thick Film MEMS Sensors von Pedersen, T., Hindrichsen, C.C., Thomsen, E.V., Hansen, K., Lou-Moller, R.


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