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Plasma etching of copper films at low temperature
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XPS investigation of Nafion ® membrane degradation
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Structural and optical properties of plasma-deposited boron nitride films
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Demonstration of plutonium etching in a [formula omitted] RF glow discharge
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Conduction mechanism in plasma-polymerized tetramethylsilane films
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Diagnostics and modeling of N/sub 2/O RF glow discharges
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