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    Method of producing a thin-film system

    Method of producing a thin-film system von Winkler, Torsten, Blüthner, Ralf, Goedicke, Klaus, Junghähnel, Michael, Buchberger, Hans, Müller, Manfred, Hebgen, Arno, Schneider, Hans-Hermann

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    Method of producing a thin-film system

    Method of producing a thin-film system von BLUETHNER RALF, JUNGHAEHNEL MICHAEL, SCHNEIDER HANS-HERMANN, GOEDICKE KLAUS, HEBGEN ARNO, WINKLER TORSTEN, BUCHBERGER HANS, MUELLER MANFRED

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    Method of producing a thin-film system von Winkler, Torsten, Bluthner, Ralf, Goedicke, Klaus, Junghahnel, Michael, Buchberger, Hans, Muller, Manfred, Hebgen, Arno, Schneider, Hans-Hermann

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    Method of producing a thin-film system

    Method of producing a thin-film system von SCHNEIDER HANS-HERMANN, BLUTHNER RALF, GOEDICKE KLAUS, HEBGEN ARNO, WINKLER TORSTEN, JUNGHAHNEL MICHAEL, BUCHBERGER HANS, MULLER MANFRED

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    Production of a thin layer system comprises introducing power into the plasma in the form of a controlled number of pulses during deposition of extremely thin layers; and adjusting the average power during the pulse-one time

    Production of a thin layer system comprises introducing power into the plasma in the form of a controlled number of pulses during deposition of extremely thin layers; and adjusting... von WINKLER, TORSTEN, HEBGEN, ARNO, BLUETHNER, RALF, JUNGHAEHNEL, MICHAEL, SCHNEIDER, HANS-HERMANN, MUELLER, MANFRED, GOEDICKE, KLAUS, BUCHBERGER, HANS

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    Verfahren zur Herstellung eines Dünnschichtsystems und Anwendung des Verfahrens

    Verfahren zur Herstellung eines Dünnschichtsystems und Anwendung des Verfahrens von WINKLER, TORSTEN, HEBGEN, ARNO, BLUETHNER, RALF, JUNGHAEHNEL, MICHAEL, SCHNEIDER, HANS-HERMANN, MUELLER, MANFRED, GOEDICKE, KLAUS, BUCHBERGER, HANS

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