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    The Rate Constant of Thermal Decomposition of Zirconium Tetra-n-Propoxide in Preparation of Zirconia Film by Thermal CVD Method

    The Rate Constant of Thermal Decomposition of Zirconium Tetra-n-Propoxide in Preparation of Zirconia Film by Thermal CVD Method von Nakamura, Shizuo, Hayashi, Yoshisige, Kawanishi, Takuya, Gotoh, Kouhei

    Veröffentlicht in KAGAKU KOGAKU RONBUNSHU

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